星微科技：夯实自主创新能力，推进半导体核心零部件国产自主化

“对于行业的未来，我们充满信心。”星微科技有限公司（以下简称星微科技）董事长陆敏杰微笑着说到。位于无锡市新吴区的星微科技成立于2015年，公司专注于半导体晶圆自动化领域，产品包括半导体晶圆传输机器人（Wafer Robot）及晶圆自动化设备（EFEM/SORTER）、超精密晶圆运动控制系统（Wafer Stage）。致力打造半导体晶圆自动化传输系统到晶圆高精度定位系统的定制化整体解决方案。公司研发团队掌握自主核心技术，关键核心零部件完全自主化，技术水平国内*。

近年来，中国半导体行业进入了快速发展期，而无锡以其独特的地理位置和完整的产业链优势，构建起一个半导体产业积聚的超级生态圈。据相关数据显示，无锡的半导体产业规模位列全国第二，仅次于上海。

2022年年初，毅达资本完成对星微科技的投资，这也是毅达资本在无锡半导体产业链上的又一笔投资。目前毅达资本在无锡半导体投资领域已经涉及上游的半导体材料和设备生产、中游的电子元器件和集成电路制造、下游的电脑、穿戴设备、安防、5G应用等全产业链条。

两大核心产品为抓手

推进核心零部件自主化进程

半导体制造工艺对环境洁净度要求苛刻，通常人工操作无法达到行业的生产标准要求。星微科技制造的晶圆自动传输系统便是用于晶圆在各个半导体设备间的传输工作，是所有半导体制程、检测设备都必不可少的关键组成部分。

“如果把芯片比作宇宙飞船，那么晶圆就是航空母舰，生产过程极其复杂。在这一过程中，晶圆则需要由一个设备转移到下一个设备，期间任何一个微小的位置失误都会导致晶圆受损。因此，晶圆制造厂都会选择无人化的生产过程。”星微科技董事长陆敏杰表示，公司目前自主研发的带晶圆机械手的传输系统，就是用来实现晶圆的自动搬运、分选等功能。

超精密运动平台控制系统是公司的另一大核心产品。它作为晶圆光刻、 缺陷检测、芯片封装等设备的主要核心模块。主要职能是承载晶圆、芯片按照指定的运动轨迹做高速、高精度定位等一系列*运动。

Wafer Stage-超精密晶圆运动控制系统

核心零部件作为半导体设备乃至半导体产业链的基石，在很长一段时间内都依赖于进口。而今随着国家创新能力和研发能力的提升，目前已初步形成国产化趋势。但因为起步晚，公司也只是完成了产品中的部分核心部件自主化。陆敏杰告诉记者，一款产品在实际运行中会出现各种预想不到的问题，需要不断的优化迭代。目前公司自主研发的超精密气浮运动平台各项精度指标和制造工艺质量等方面，与国外产品并无二致，具有突破国外垄断的重要意义。

2015年回锡创业

深耕先进制造，坚信中国制造

“我是无锡人，最开始在上海工作，从事的也是精密运动控制系统领域。2015年，我回到了自己的家乡，开始创业之旅。”陆敏杰说道。

然而，公司的发展并不是一帆风顺。2015-2018年，国内半导体行业处于低谷期，相应地，对半导体核心零部件的需求也较少。当时，公司订单基本来源于科研院所。

随着中 美贸易竞争的加剧、技术的脱钩，半导体自主化势在必行，半导体零部件的国产自主化也引人关注。“半导体设备由成千上万的零部件组成，这些零部件的性能、精度，则直接影响着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上升级迭代的关键要素。”陆敏杰告诉记者，公司从一开始就选择超精密运动平台和晶圆传输设备两大核心产品，助力被“卡脖子”的半导体设备的国产化。

开拓市场也是一大难题。“公司在创业初期，作为该领域的新入行者，会面临产品在市场上的认可度问题。”陆敏杰表示，有些客户习惯于国外产品，因此需要先为客户定制测试样机的方式来获取市场机会。“公司当前已经有了稳定的客户群，订单排产、生产及交付也都在逐步推进中，经营效益实现较快增长。公司会继续求真务实，主动作为，稳步提升销量和产品质量。”

强化人才团队建设

让创新人才安心“留下来”

2022年两会期间，“鼓励年轻人少送外卖多进工厂”的建议登上热搜，引发了人们对制造业招工难问题的讨论。

在陆敏杰看来，部分公众对制造业存有工作强度大、工作环境差、薪资待遇低等刻板印象，但实际上，国内不少制造业企业早已“今非昔比”，工作环境及收入已有明显提高。以星微科技为例，不计投入做好各项保障工作，而且提供充分的技能培训、完善的晋升渠道、合理的工作安排，让人才“留下来”。

当前，公司正在抓紧对优秀应届生以及拥有工作经验的技术人才、产业人才的招聘。 陆敏杰表示，不同于流水线式的重复工作，星微科技更注重对人才的系统化、全面化培养，“我们也在争取公司本身的转型升级，增加产品‘附加值’，吸引更多有创造力的优秀人才的加入。”