上海杀出超级独角兽：一把融资近5亿，全国唯一

据企业预警通消息，睿励科学仪器（上海）有限公司（下称睿励科学）完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。

本次融资主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

睿励科学成立于于2005年，总部在上海张江，主要产品属于半导体质量控制设备，通俗地讲，就是用来检测作为芯片生产载体的晶圆是否合格的设备。

半导体质量控制设备分为检测设备和量测设备。检测设备用于检查晶圆是否有表面划伤、是否有颗粒污染等。量测设备用于精确判断晶圆上薄膜厚度、刻蚀深度、关键尺寸是否准确。芯片的良品率跟工艺高低、生产设备好坏有密切关系，半导体质量控制设备是芯片代工厂必不可少的。

华安证券研报指出，半导体质量控制设备的市场空间仅次于光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，同时也是除光刻机外国产化率*的一环核心设备。

权威半导体市场分析机构VLSI Research数据显示：2016年至2020年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为31.6%，其中2020年中国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为21.0亿美元，同比增长24.3%。

然而，中国大陆半导体质量控制设备市场八成份额由国外厂商占据，其中科磊公司占据一半以上份额，应用材料公司、日立公司也具备相当强劲的实力。2020年，国内该类型设备国产率不足2%，国内厂家还包括中科飞测、上海精测等。

睿励科学称，其膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证（累计数以亿计的晶圆跑片数）。而据张通社报道，迄今为止，睿励科学仍是进入三星半导体产线的*国产设备厂商，也是目前*为半导体芯片制造良率控制、提供批量有图形光学缺陷检测设备的国产设备企业。

睿励科学成立后获得多轮融资，股东包括中微公司、上海浦东科创集团、国家集成电路产业投资基金等。

其中，中微公司于2020年和2021年分两次向睿励科学出资合计超过2亿元，成为*股东，持股比例超36%，并由中微半导体董事长尹志尧博士亲自出任睿励科学仪器董事长。

睿励科学技术水平也不断提升。早在2019年，睿励科学自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层的检测能力。产品目前已成功进入世界*芯片客户3D闪存芯片生产线，并取得7台次重复订单，是目前进入该国际*芯片生产企业*的国产集成电路设备产品。

睿励科学2022年营业收入为7186.26万元（未经审计）。

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