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中微赛尔在Micro LED量产关键工艺获重大突破:“S-W”量产工艺-实现全色域12英寸晶圆重构

2026-05-21 11:07 · 网络     

【北京·海淀】成本高昂、效率低下、性能受限——这些长期困扰Micro LED芯片行业的普遍性难题,正被北京中微赛尔科技有限公司(以下简称“中微赛尔”)逐步攻克。近期,中微赛尔凭借*的“S-W”工艺完成关键突破,成功实现红光、绿光、蓝光三基色(RGB)全色域12英寸晶圆重构,在Micro LED芯片生产中极大降低成本、提高效率、改良性能,并为下一代单片全彩产品的量产奠定坚实基础。中微赛尔位于北京海淀,是一家专注于Micro LED等前沿显示技术的科技企业。公司立足于chip-wafer晶圆重构技术思路,创新提出“S-W”工艺,从底层解决发光材料与控制电路晶圆尺寸不匹配的行业核心难题,并基于此开发出DRSP像素架构。

一、Micro LED行业中核心难题:“发光材料”和“控制电路”的晶圆尺寸不匹配

Micro LED行业中,受限于当前技术,发光材料(半导体外延晶圆,如GaN、GaAs)通常为4英寸或6英寸,而控制电路(CMOS驱动晶圆,12英寸硅基产线)则为12英寸标准。两者关系如同“灯泡”与“灯泡开关电路板”,必须精确匹配。然而尺寸不统一导致行业被迫“削足适履”——将12英寸驱动晶圆切小,浪费率达23%左右;或或者牺牲部分性能,采用8英寸硅基化合物外延与8英寸CMOS驱动晶圆的方案,但依然存在浪费且无法有效解决红光难题。

二、中微赛尔*“S-W”工艺:在12英寸大硅片上高效重建发光层

中微赛尔立足于chip-wafer晶圆重构技术思路,创新提出“S-W”工艺。此工艺在建构12英寸Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片的同时,结合半导体制程特点,采用chiplet转移,实现了较高量产效率。中微赛尔“S-W”工艺的本质,是在12英寸大硅片上高效重建高性能Ⅲ-Ⅴ族化合物发光层,使发光材料与控制电路尺寸*匹配,可直接在主流12英寸产线上进行高效、低成本的一体化制造。

S-W工艺实物.png

S-W工艺实物(中微赛尔*

S-W工艺示意

S-W工艺示意中微赛尔*

三、中微赛尔*“S-W”工艺技术优势一览

1. 更先进工艺:12英寸晶圆兼容更先进工艺制程,可设计生产更高精度、更先进的产品;

2. 更高效率:更大晶圆尺寸,量产效率更高,生产成本更低;

3. 更高产品良率:匹配目前主流CMOS驱动电路制程,良率显著提升;

4. 更强量产性:采用芯片组进行转移,提高转移效率,具备更强量产能力。

四、中微赛尔提出DRSP像素架构:为单片全彩奠定基础

为适应行业对单片全彩的迫切需求,中微赛尔提出DRSP像素架构。随着“S-W”工艺的突破,DRSP架构的开发获得坚实基础。相比业内原有方案,DRSP具备以下显著优势:

· 驱动衬底键合次数少,生产良率高,量产成本更低;

· 彩色像素架构更紧凑,发光位置更集中,有利于micro-Lens效率提升,整体出光效率提高5%以上;

· 红光区域面积最 大,有效规避红光“尺寸效应”短板,全彩产品亮度高于行业水平一倍以上;

· 发光层可根据材料特性及亮度需求灵活调整,获取最高发光效率(效率再提高5%以上),使产品在寿命、亮度、效率方面均具明显优势。

五、中微赛尔推动Micro LED终端生态繁荣发展

12英寸晶圆重构以及“S-W”量产关键工艺的成功验证,为Micro LED的规模化量产及成本大幅下降铺平了道路,将极大推动Micro LED终端生态的繁荣发展——覆盖智能穿戴、CPO光通信、光医疗、光计算、光存储、下一代空天通信等众多前沿领域。中微赛尔正以自主核心技术,持续引领Micro LED行业从“实验室”走向大规模低成本“量产线”,为全球显示产业注入中国创新的强劲动力。

北京中微赛尔科技有限公司专注于Micro LED等前沿显示技术,拥有晶圆重构S-W工艺DRSP架构等多项核心创新,致力于解决Micro LED芯片行业成本、效率、性能难题,推动下一代显示技术规模化应用。中微赛尔为Micro LED规模化量产及成本大幅下降铺平道路,极大推动终端生态繁荣发展

注:文中技术描述基于中微赛尔官方验证数据,符合国家相关科技法规及市场监管要求。

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